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钛铝合金靶材制作方法介绍

点击量:106  更新时间:2019/10/16

金属靶材是指用在高速荷能粒子轰击的目标材料。并且通过更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。而随着时代的发展,越来越多新兴材料的出现靶材的大家庭中同样也迎来了以为新的成员——钛铝合金靶材。

钛铝合金靶材既是使用钛铝合金为原材料制作的靶材。一般情况下呈银白色,具有强度高、熔点高等多种优势。那么钛铝合金靶材制作方法是什么?

迄今为止,全世界各大靶材制造公司,对于钛铝合金靶材制作方法通常都采用这两种。一种是先使用铸造法制作铸锭后,在进行锻造过程进行靶材的制作;另一种则是以喷覆成型的方式去制作钛铝合金靶材。而就种方法而言目前已知的铸造和锻造的方法在制作铝合金溅射靶材的过程中,经常会因为添加合金元素这一重要步骤而使得铝合金靶材产生偏析现象,从而导致了溅镀所得的薄膜品质不高,且溅镀靶的表面容易产生微颗粒,影响薄膜性质的均匀性。而第二种的喷覆成型方式制作的钛铝合金靶材虽然可以避免上述的种种情况,但是却会使得靶材的制作成本大幅的提高,尤其是在制作一些不容易被锻造方式而必须采用热均压的靶材时,其成本还会因为使用热均压的提高而在此提高。

除了以上两种常规的钛铝合金靶材制作方法,今天小编给大家普及一种制作过程简单且成本很低的制作方法——以气喷粉末制作钛铝合金靶材。

气喷粉末钛铝合金靶材制作方法介绍:

1、主要原理
这种方法的主要原理是指以气喷法依合金的成分配比制作靶材的原料粉末;然后再将该合金粉末予以筛分,使得到适当的粉末粒径;随后使用得到的粉末进行真空热压,使其成型再制作成靶材。

2、主要优势
而这种制作方法的优势在于可以用于制作各种不同的铝合金靶材如铝、铬;铝、硅、铜;铝、钛;等等。其次此方法能够避免产生材料偏析和微颗粒的缺点,并能够更快速更经济的制作品质更高的钛铝合金靶材。

3、实施步骤
该方法的正确实施步骤为,首先提供制作铝合金靶材的金属原料;随后将这些金属原料熔融成金属溶液;接着再以气喷法将金属溶液制作成金属粉末状;然后,再以真空热压的方式将该金属粉末压成型制作成靶材,并通过惰性气体作为保护气体。
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