产品名称

元素符号

纯度

形状

氧化钛

TiOx

3N,3N5,4N

平面靶，旋转靶

氧化铌

Nb2Ox

4N

平面靶，旋转靶

氧化锆

ZrO2

4N

平面靶，旋转靶

氧化锌铝

AZO

3N5,4N

平面靶，旋转靶

氧化锌锡

TZO

3N,3N8

平面靶，旋转靶

氧化锡锑

ATO

3N,3N8

平面靶，旋转靶

氧化铟锡

ITO

4N

平面靶，旋转靶

氧化铝

Al2O3

3N,4N,5N

平面靶，台阶靶

氧化锌

ZnO

3N,4N

平面靶，旋转靶

氧化铁

Fe2O3

3N,4N,5N

平面靶，台阶靶

氧化镁

MgO

3N,4N

平面靶，旋转靶

氧化铅

PbO

3N,4N

平面靶，台阶靶

氧化钆

Gd2O3

3N,4N

平面靶，台阶靶

三氧化钨

WO3

3N,4N

面靶，颗粒

氧化铟镓锌

IGZO

3N,4N

平面靶，旋转靶

氧化锌镓

GZO

3N,4N

平面靶，旋转靶

硫化锌

ZnS

3N,4N

平面靶，颗粒

硫化镉

CdS

3N,4N

平面靶，旋转靶

硫化钼

MoS2

3N,4N

平面靶，旋转靶

硫化钨

WS2

3N5

平面靶，旋转靶

二氧化硅

SiO2

4N,5N

平面靶，颗粒

一氧化硅

SiO

4N,5N

平面靶，颗粒

五氧化二钽

Ta2O5

3N,3N5,4N

平面靶，颗粒

氟化钡

BaF2

3N,3N5

平面靶，颗粒

氟化锶

SrF2

3N,3N5

平面靶，颗粒

氟化锰

MnF2

3N,3N5

平面靶，颗粒

氮化钛

TiN

3N,3N5

平面靶，颗粒

氮化硅

SiN

3N,4N

平面靶，颗粒

氮化硼

BN

2N5,3N

平面靶，旋转靶

碳化硼

B4C

3N,4N

平面靶，旋转靶

碳化硅

SiC

3N,4N

平面靶，旋转靶

碳化钨

WC

3N,4N

平面靶，旋转靶

碳化钛

TiC

2N5,3N

平面靶，旋转靶

碳酸锂

Li2CO3

3N,4N

平面靶，颗粒

钽酸锂

LiO3Ta

3N,4N

平面靶，颗粒

磷酸锂

Li3PO4

3N,4N

平面靶，颗粒

钛酸锂

Li4Ti5O12

3N,4N

平面靶，颗粒

本公司目前生产的陶瓷靶材包括但不局限于以上产品。